المجهر الإلكتروني التحليلي تمكن من تحديد نسب تركيز العناصر بحساسية نسبة قليلة من الذرات في التحليل المجهري عن طريق التحليل الطيفي للأشعة السينية المشتتة للطاقة (EDX). يتم ذلك عبر نسب إشارة EDX والمقارنة مع العينات المرجعية لتقليل تأثير عدم اليقين في عوامل مثل السماكة، المقطع العرضي للتأين، إنتاجية التألق وهندسة الكاشف. ومن حيث المبدأ، من الممكن مقارنة النطاق المطلق مع حسابات المقطع العرضي للتأين. في طيف EDX، يتم الحصول على معظم القمم بواسطة الأشعة السينية والتي يتم إنتاجها بواسطة إشعاع التألق المميز تقنية التوصيف هذه ذات صلة بالمبدأ الأساسي للجدول الدوري؛ يحتوي كل عنصر من عناصر الجدول الدوري على تكوين ذري فريد يعطي مجموعة معينة من القمم على طيف إشعاع الأشعة السينية عند سقوط شعاع عالي الطاقة من الجسيمات النشطة، مثل الإلكترونات أو البروتونات أو شعاع من الأشعة السينية على العينة. يمكننا تقدير كمية طاقة الأشعة السينية المشعة من عينة عبر مطياف مشتت للطاقة. في تحليل تشتت الطاقة، يتم فحص إشعاع فلورسنت معين عن طريق فرز طاقة الفوتون. تعتمد شدة كل إشعاع على كمية كل عنصر موجود في العينة

الشكل (28.1) الطاقة التشتت الأشعة السينية الطيفي