لقد أدت قدرة المجاهر الإلكترونية على تصوير الأجسام ذات الحجم دون الميكروني، حتى وصولاً إلى مواقع ذرية واحدة، إلى تطوير تقنيات نانوية جديدة تمامًا، كما مكنت من حدوث تطورات ملحوظة من خلال هندسة النانو للمكونات الكبيرة. أصبح المجهر الإلكتروني تقنية رئيسة لتوصيف المواد عبر مجموعة واسعة من الصناعات تاريخياً هناك متغيرات عدة من الفحص المجهري للضوء، ولكن عادة ما يكون هناك حد لقدرتها على تمييز الأشياء والميزات الأصغر من حوالي 0.1مم (100 nm). دقة المجهر هي القدرة على فصل ميزتين بمسافة معينة عن بعضهما البعض ككائنات فردية في الصورة بالنسبة لمجهر ضوئي، فإن حد الدقة هو خاصية جوهرية بسبب الطول الموجي 1 لإشعاع الضوء المرئي، والذي يتراوح من nm 400 (أزرق) إلى 700nm (أحمر). تتفاعل الأطوال الموجية الأقصر للإشعاع بقوة أكبر مع المواد النانوية، ويمكن أن تنتج صورًا عالية الدقة وكما مبين في شكل (1.29)

شكل (29.1) مخطط للمجهر الالكتروني الماسح