تاريخ الفيزياء
علماء الفيزياء
الفيزياء الكلاسيكية
الميكانيك
الديناميكا الحرارية
الكهربائية والمغناطيسية
الكهربائية
المغناطيسية
الكهرومغناطيسية
علم البصريات
تاريخ علم البصريات
الضوء
مواضيع عامة في علم البصريات
الصوت
الفيزياء الحديثة
النظرية النسبية
النظرية النسبية الخاصة
النظرية النسبية العامة
مواضيع عامة في النظرية النسبية
ميكانيكا الكم
الفيزياء الذرية
الفيزياء الجزيئية
الفيزياء النووية
مواضيع عامة في الفيزياء النووية
النشاط الاشعاعي
فيزياء الحالة الصلبة
الموصلات
أشباه الموصلات
العوازل
مواضيع عامة في الفيزياء الصلبة
فيزياء الجوامد
الليزر
أنواع الليزر
بعض تطبيقات الليزر
مواضيع عامة في الليزر
علم الفلك
تاريخ وعلماء علم الفلك
الثقوب السوداء
المجموعة الشمسية
الشمس
كوكب عطارد
كوكب الزهرة
كوكب الأرض
كوكب المريخ
كوكب المشتري
كوكب زحل
كوكب أورانوس
كوكب نبتون
كوكب بلوتو
القمر
كواكب ومواضيع اخرى
مواضيع عامة في علم الفلك
النجوم
البلازما
الألكترونيات
خواص المادة
الطاقة البديلة
الطاقة الشمسية
مواضيع عامة في الطاقة البديلة
المد والجزر
فيزياء الجسيمات
الفيزياء والعلوم الأخرى
الفيزياء الكيميائية
الفيزياء الرياضية
الفيزياء الحيوية
الفيزياء العامة
مواضيع عامة في الفيزياء
تجارب فيزيائية
مصطلحات وتعاريف فيزيائية
وحدات القياس الفيزيائية
طرائف الفيزياء
مواضيع اخرى
طريقة الترسيب البخاري الكيميائي ( Chemical Vapor Deposition method)
المؤلف:
أ.د. محمود محمد سليم صالح
المصدر:
تقنية النانو و عصر علمي جديد
الجزء والصفحة:
ص 106
2025-02-10
210
وتشغل فيها المفاعل لمقدار يصل إلى حوالي 30 دقيقة، وذلك مع درجة حرارة تتراوح ما بين 500 إلى 1150 درجة مئوية؛ ممّا يسمح بتفكك ذرات الهيدروكربون الموجودة ، ثم يمرّر عبر المفاعل تيار من غاز الأرجون أو الهيدروجين، أو خليط من الاثنين ثم يحمل هذا التيار الغازي ذرات الكربون الناتجة عن تفكك الهيدروكربون. ثم يعاد تشكيل وترتيب ذرات الكربون على صورة أنابيب كربون نانوية (انظر الشكل رقم 3-16). وتقنية ترسيب الأبخرة الكيميائية تعد من أحدث الطرق التي طوّرت؛ لتتغلب على عيوب الطريقة السابقة من حيث انخفاض تكلفتها ، واستخدام درجة حرارة أقل في الإنتاج، كما تتميز بوفرة الإنتاج،
وبقدرتها على إنتاج كلا النوعين، أي أنابيب النانو الكربونية أحادية الجدار، ومتعددة الجدار. ويوضع في هذه الطريقة داعم تفاعل (substrate) يكون في الغالب رقاقة سيلكون في وسط حيز التفاعل الذي يشبه القرن (Oven-like)، وترفع درجة حرارة الحيز إلى 600 درجة مئوية، لم يضاف غاز الهيدروكربون، أو أي غازات كربونية إلى نظام التفاعل الذي ينتج عنه فصل ذرات الكربون، ثم تشكل أنابيب الكربون على الرقاقة السيلكونية، وكذلك تشكل الكثير من تركيبات الكربون الأخرى إلى جانب أنابيب النانو الكربونية، مثل: مسحوق الكربون، وشرائحه السميكة والرقيقة، وغيرها. وعلى الرغم من بعض العيوب التي قد توجد في الأنابيب المنتجة بهذه الطريقة فإن هذه الطريقة تعد من أكثر الطرق انتشارا بين المجموعات البحثية لإنتاج أنابيب النانو الخاصة بهم؛ وذلك لسهولة عملها، وتوفر تجهيزاتها. ويمكن تصنيع أنابيب الكربون النانوية بواسطة هذه الطريقة على شكل مسحوق (بودر) أيضًا، وذلك باستخدام محفزات على شكل مسحوق مثل: الحديد، أو الكوبالت، أو النيكل، وليست هذه الطريقة محصورة على ترسيب أنابيب الكربون النانوية على شكل شرائح من السيلكون بل تعد من أهم الطرق لإنتاج أنابيب الكربون بكميات كبيرة وتجارية .
شكل رقم (1) مخطط توضيحي لعمليات تصنيع أنابيب الكربون النانوية باستخدام
طريقة الترسيب البخاري في مسامات أكسيد الألمونيوم .