تسمى عملية انبعاث الإلكترونات من سطح معدني جراء قصفها بإلكترونات أو جسيمات ذات سرع عالية بالانبعاث الثانوي (Secondary Emission) ، فعند اصطدام الكترونات أو الجسيمات بسطح الباعث فان قسما من طاقتها تنتقل إلى الإلكترونات الحرة على سطح الباعث، ومتى ما كانت طاقة الإلكترون الساقط مناسبة تساوي أو اكبر من دالة الشغل لمادة (الباعث يمكن ان تنبعث من ذلك السطح الكترونات جديدة تسمى بالإلكترونات الثانوية (secondary electrons) وذلك لتمييزها عن الإلكترونات الإلكترونات الابتدائية Primary electrons) أو الجسيمات الساقطة.

الشكل التالي يمثل مخطط لعملية الانبعاث الثانوي، حيث يوجد كل من مصدر الإلكترونات وسطح الباعث والانود داخل أنبوبة مفرغة من الهواء، فعند اصطدام الإلكترونات الابتدائية ذات الطاقة المناسبة بسطح الباعث (E) تنبعث عنه الكترونات ثانوية ولجمع الإلكترونات الثانوية المنبعثة يتم تسليط فرق جهد كهربائي بين الباعث والانود بحيث يكون الانود موجبا بالنسبة لجهد الباعث وتعتمد شدة الإلكترونات الثانوية المنبعثة على طاقة الإلكترونات الابتدائية وزاوية سقوطها وعلى طبيعة مادة الباعث.

                          الشكل يمثل مخطط لعملية الانبعاث الثانوي