يمكن الحصول على فيض من الإلكترونات السريعة بطرق مماثلة للحصول على الأشعة السينية من الأنابيب وطول موجة الموجات المصاحبة للإلكترونات تعتمد على فرق الجهد المستخدم حيث إن طاقة الحركة للإلكترونات تعطى بالمعادلة:

حيث e هي شحنة الإلكترون، V هو فرق الجهد

من (21-4)، (22-4) نجد أن λ تتناسب عكسيا مع V كالآتي:

حيث تكون λ بالأنجستروم وتكون V بالفولت.

والمعادلة السابقة ينقصها بعض التصويبات النسبية عند استخدام الجهود العالية نتيجة لتغير كتلة الإلكترون مع السرعة. فإذا كان الجهد المستخدم يساوي 100 KV (مائة كيلو فولت) فإن طول الموجة المصاحبة للإلكترون (طول موجة الإلكترون) تكون حوالي Å 0.04 وهي أقصر من طول موجة الأشعة السينية المستخدمة في تجارب الحيود.

ويختلف حيود الإلكترونات عن حيود الأشعة السينية في النقاط التالية:

1- أن الأشعة الإلكترونية تكون أقل في قدرتها على الاختراق من الأشعة السينية وهي تمتص بسهولة أكثر بواسطة الهواء الذي يعني أن العينة المراد فحصها والفيلم الحساس الذي يسجل عليه شكل الحيود لابد وأن يكونا داخل الأنبوبة المفرغة التي ينتج فيها الشعاع الإلكتروني، ولا يمكن الحصول على شكل الحيود النافذ إلا إذا كان سمك العينة قليل جدا أي تكون على شكل رقائق أو شرائح ويمكن الحصول على شكل حيود انعكاسي من العينات السميكة باستخدام تقنية معينة ((glancing angle technique، ولهذا فإن حيود الإلكترونات يصلح لدراسة طبقات الأسطح الرقيقة (حوالي جزء من مائة من الأنجستروم).

2- إن الإلكترونات تتشتت بنسبة أكبر كثيرا من الأشعة السينية وعلى هذا فإن شريحة رقيقة من المادة يمكن أن تعطي شكل الحيود في وقت قصير.

3- إن شدة تشتت الإلكترونات تقل بزيادة الزاوية 2θ كما هو حادث في حالة الأشعة السينية ولكن معدل النقصان يكون بنسبة أكبر، وفي هذه الظروف بالإضافة لقصر طول موجة الأشعة الإلكترونية فإن هذا يجعل شكل الحيود محددا بقيمة للزاوية 2θ حوالى 4º±. وكل الدراسات التي تجري في الوقت الحالي تكون باستخدام الميكروسكوب الإلكتروني وبذلك يعمل الجهاز كميكروسكوب وجهاز حيود في نفس الوقت وشكل الحيود يوضح لنا وضع البلورات (الحبيبات) تحت الاختبار.

وتطبيق آخر في مجال الحيود للإلكترونات ذات الطاقة المنخفضة (Low Energy Electron Diffraction (LEED وهو يجري باستخدام أجهزة خاصة تعمل بجهد تشغيل في حدود 100 فولت وبذلك تكون الإلكترونات لها طاقة منخفضة لا تسمح إلا باختراق طبقة واحدة من الذرات على سطح العينة، وبذلك يكون شكل الحيود الناتج موضحا ترتيب هذه الطبقة من الذرات على السطح وهو غالبا ما يكون ترتيبا مختلفا عن ذلك الموجود داخل المادة، وهذه الدراسات تعتبر هامة في تفهم ظاهرة مثل ظاهرة العوامل المساعدة في التفاعل (Catalysis).